汽车驶入张江高新区。
此时的张江远不像后世那样繁华,尚有大片的农村隐在竹林树荫之间,不过宽阔的水泥路面却宣告了此地的未来。
厂门口,“芯德国际”四个鎏金大字闪闪发光——合资厂的中文名便在远芯和德仪中各自取了一个字。
张汝金率领圣光峰,意大利人阿尔齐德,以及前来圈地的陈建国前来迎接。
陈建国自从回到远芯开始搞铜制程之后便一直往全国各地几个能搞化学气相沉淀的实验室跑,还跟着苏星河教授出国去溜达了一圈。拿他的话说就是磨刀不误砍柴工,先把理论上搞懂再说。
不过制程技术终究还是要落在实验上,远芯虽然也有一条组装起来的芯片线,但碍于设备和技术都落后,只能做权宜之计。
现在这边晶圆厂落地,陈建国当然要把实验室搬到这边来了。
“张博士。”苏远山刚下车便大步上前,握着张汝金的手情真意切地道:“辛苦了。”
“不辛苦。”张汝金比苏远山矮了半个头,他望着苏远山年轻的脸庞,自然也能感觉出这个年轻人对自己那种发自内心的尊敬——这其实困扰了他多时。
后来直到来到沪市,接触到了远芯的员工,继而参加年会,和李明柳,姜涛等高层熟悉后,他对苏远山的了解这才算多了一些。
当然了,随着陈建国这苏远山的亲传师兄过来,他对苏远山的认识这才算真正的立体起来。
也大概猜到了苏远山为什么会格外的“尊重”自己。
和其他人一一握手,互相介绍后,张汝金率先前行了一步:“走,我们去看看光罩厂。”
光罩,也叫光掩膜版,英文名字叫Mask。是一种由石英为材料制成的,可以用在半导体曝光制程上的母版。从芯片生产程序来说,它属于前期工序。
而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程,就像印钞机工作一样。
我们可以把光刻机想象成印钞机,把钞票母版的图形印到纸张上的过程,就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样,都需要有母版,这个母版在半导体制造上就是光罩。
为了制造一款芯片需要几百道工序,光罩也是不只一张的,原则上,工艺制程精度越高,需要的光罩数量也就越多。
譬如在后世,在14nm工艺制程上,大约需要60张光罩,7nm可能需要80张光罩甚至更多。
当然光罩的品质要求也是不同的,对于某些对精度要求很高的工序,相对应的光罩对精度的要求时最高的,比如晶体管相关的光罩,而对精度要求不那么高的工艺,比如Pad(打线孔)等要求就低一些,光罩价格也便宜一些。
先进制程对光罩精度的要求越来越高,同时不能有缺陷,所以光罩制造后的检查也很重要。
(注:上面对光罩的解释,引用的是全芯智造技术有限公司BD总监韩明的知乎回答节选,在此致谢——我自己没组织语言和加工是因为他说得太清楚了……)
因为光罩厂的生产工艺工序复杂,同时制程精度越高,需要的时间也就越长,因此它并不是一个晶圆厂的必备车间——因为晶圆厂完全可以委托其他光罩厂进行掩膜版制作,同时它还可以制造其他行业所需要的光罩。
之所以第一时间选择建光罩厂,张汝金也是看到了这一点。
目前国内尚且没有专业提供代工的光罩厂,张汝金能直接携带德仪的光罩技术过来,等建好后也能赚点小钱。
——当然,他是不知道,苏远山其实是打算在晶圆厂上先亏它个二十亿美刀的。
“光罩厂的主要设备几乎都掌握在霓国那边,包括核心的光罩写入机。还好购买过程中没有遇到太大的麻烦,霓国Nuflare公司那边表示已经开始装箱,马上就能运送过来。”
张汝金带着一行人沿着崭新的水泥路面走向远处的车间,一路走,一路介绍着情况。
苏远山抬头瞥了一眼,只见整个科技园区俨然一座正在快速兴起的城市,无数个工地忙碌非凡。
“算下来,最多半年时间,光罩厂就能投入运行了。”
“嗯,到时候我们去跑跑业务,干脆让华晶那边把光罩厂撤了。”苏远山开着玩笑道:“一次流片过程中,光罩的制作成本太高了,华晶技术不行,成本更高。”
“主要还是技术。”张汝金笑道,同时转向陈建国:“陈博士,听说你有一项掩膜版的专利?”
陈建国有些不好意思的点头:“当初在联电和他们联合制作掩膜版的时候,有点小灵感。算不了什么大突破。”
“呵呵,有点进步就是好的。哪怕一个专利只够为一片晶圆减少一美元成本,这也是增加了竞争力啊。”
“那是。”苏远山替师兄接过话,他知道自己师兄不善言辞,笑道:“特别是时间成本,在半导体领域,时间是很大的成本。”
参观完厂区已经临近六点,或许是老听远芯的员工说苏远山从来都是吃员工餐,因此张汝金也就没有另外安排,而是直接在厂里食堂请了苏远山一顿。
不过他倒也不好意思请大家吃铁盘盒饭,好歹摆了一桌,只不过菜还是大锅菜罢了。
嗯……苏远山当然不挑剔,只不过这边的饭菜他不怎么习惯。
晚饭后,张汝金把苏远山等人送出园区,并定下明天上午十点,苏远山再次到他办公室会面。
……
李明柳把苏远山和周小慧送到酒店门口,他连车都懒得下,直接摇下车窗,冲苏远山道:“明天我就不过来了,八点半我给你安排个车在这等你。”
“嗯,去吧。明天我还会在厂里呆一天,后天到你那儿。”
“OK~!”
两人站在酒店门口,目送李明柳缓慢起步,然后一脚油门便插入街道。
周小慧眨了眨眼:“他开这么快?”
“应该距离飙车还远——他要敢飙车,就得好好收拾一下了。”苏远山说着便是一笑:“不过他那破桑塔纳,油门轰到底也飙不起来。”
“……去年的新车呢!我看他保养得挺好啊。”
“……我说的性能。”
两人拖着行李箱前往前台办理入住手续,他一如既往的是住的套间,然后给周小慧在对面开了一个标间。
各自回房,周小慧放好行李后,夹着文件夹,握着手机和电池来到苏远山这边的客厅。
两人就坐在沙发上,以茶几为办公桌,开始处理今天接到的电话和安排下的事务。
……
一小时后,苏远山挂断高晓第的电话,长呼了一口气。
“有点烦躁,本来科研应该是席师兄全盘负责的,结果他就跟老太爷一样……什么事都堆我身上来了。”
苏远山伸着懒腰,很是郁闷:“出差都这么忙。”
周小慧站起身,往下理了理套裙——苏远山让她穿随意点,她却说穿正式点显得有秘书的样……闻言笑道:“你是舍不得压榨他。”
“倒不是舍不得……好吧,术业有专攻。他干这事儿未必有我干得好,他就专心当他的吉祥物也好。”
苏远山这句话说的还真是事实,远芯科技园那么多小组,如果非得找一个什么都懂一点的人,那还真非苏远山莫属了。
而席小丁这种,就让他去搞数学软件,深度学习,人工智能得了……
反正这些都是今后的方向,而且他手下一帮搞数学的,也只能在搞这些的时候才最是物有所值。
这边苏远山手机放下没多久便又响了起来,苏远山接通后,便听到父亲的声音响起了。
“小山,忙完没?”
“还好,什么事,爸。”苏远山换了个懒散的姿势,他知道最近超算主板已经到了关键时期,找自己肯定是不会让自己帮忙的——这玩意苏远山可真不会,就算他爹让他帮忙他也只能干瞪眼。
“没什么事,就是告诉你,关于91系列单片机的技术论文已经过了ISSCC,大概月底见刊。”
“真的!”苏远山一跃而起:“恭喜,爸!”
“呵呵,不就一篇论文嘛。”
电话中,苏星河教授倒还真有点淡定。
虽然一直被儿子熏陶,但苏星河教授依旧不可避免地带有不少老派知识分子的烙印。譬如他就认为,自己都已经著书立说了——还不止一本。再发论文没什么意义,一切以拿出成果为准。
譬如在开发16位单片机过程中,苏星河就创造性地采用了三级流水线,从而使得执行效率和稳定性都大大提高,简直就是为工业控制领域量身定做的。
国家那么多科学界的先驱,你看谁在国外发过什么论文了?
但苏远山不一样,苏远山一直都窜掇父亲,一定要投论文……他还不光窜掇父亲,还一直窜掇几个师兄也要往国外期刊发,哪怕是影响力不那么大,也得发。
这谈不上什么要“让外国人认可”,而是影响力。
于是苏星河教授便投了——先改了一次,然后在寄出16位单片机的样片之后,一次通过。
“爸,你不知道……这真的是国内半导体,乃至国内科研界的一大步。”
苏远山深深地吸了口气。
ISSCC(国际固态电路会议),号称是芯片设计中的奥林匹克,它只发布集成电路设计领域最高水平的成果。
此外还有JSSC(IEEE固态电路期刊)——算是对ISSCC的扩展补充,两者的影响力和价值是等同的。
要上去的条件很简单,二选一或者二选二。
最牛逼,创造性。
Thebestand/orthefirst。
这也意味着,16位单片机以及采取的家主
要知道,国内是直到2005年了,才有第一篇诞生于大陆地区的ISSCC论文。
而此后的十几年中,每年的数量平均下来也就一篇。
而且有过经历的苏远山知道,国内的科研界在90年代之前,基本上都和父亲一样,只管埋头猛搞,然后参加国外什么会议都是抱着“见识”“学习”的态度去的。
直到90年代中后期,大批的海龟学者回国,这才慢慢开始整体拓展视野,从而积极拥抱国际科领域,积极刊发期刊,然后建立完善了今后的论文制度。
而且这片ISSCC的主要意义还在于:这表示大陆从一个被“制裁”的单片机盲区,已经走到了国际先进的水平。
……
又和父亲闲聊了几句后,苏远山挂掉电话,坐在沙发上呵呵笑个不停。
“感觉比你自己发表了论文还开心。”周小慧抿着嘴,在一旁打趣道。
“那是,我爸都多少岁了?还能刚出成果。”苏远山颇有些自豪:“嘿嘿,不过也有我的功劳。”
这句话周小慧就不知道怎么接了,只是笑了笑。
苏远山抓起手机看了眼时间,吩咐道:“今天就到这吧,明天早上八点起床,九点我们准时出发。”
“好。”周小慧应了一声,开始收拾文件。
第二天,两人由远众的司机载着再次前往科技园。
上午,苏远山和张汝金单独交流了将近两个小时,吃过午饭后,他又和圣光峰,意大利人阿尔齐德等分别交谈了一番。
勉励当然谈不上,只是他作为远芯的实际掌控者,对这些不远万里来到沪市得人,要表示出足够的诚意和重视。
下午,苏远山谢绝了张汝金要送他出厂的要求,只由陈建国陪着他走出厂区。
……
“小山,我不骗你。要从铝换到铜,真的不是一般的难。”
陈建国两手插在衣兜里,不停地踢着地下的小石子,眉头皱成了一个深深的川字。
他抬头望着苏远山:“铜导制程这一块,涉及到化学和物理气相沉淀……我现在深深地感觉自己知识不够用。”
“没事,不急。”苏远山笑着安慰道:“谁也不是生来就会的,慢慢学。”
“……我看你就是生来就会。”
苏远山:“……”
“师兄,真不要着急。”苏远山盯着陈建国眼轻声道:“哪里不会学哪里,我都不要你出成果,你着急什么?”
陈建国直直地看着他:“哪里不会学哪里?那学到最后不是个门门懂,样样瘟吗?”
“额……也不能这么说,我的意思是,弄懂大原理之后,你可以掌控全局,不需要你专精到每一步。你只需要知道方向,确定目标,然后拼命地让手下团队往方向钻就行了。”
“话虽如此,但老看到一直试验失败,然后钱还稀里哗啦地烧,总是觉得很不爽。”
“呵呵……这才烧到哪跟哪?”苏远山把着陈建国的肩膀,大气也不喘:“七年,五亿美元——够不够?”
“我靠……”
“真的,师兄,我不骗你,那不是技术,是方向。”
陈建国一口气憋到腹腔。
他知道,一旦苏远山说出方向,那就一定是方向。只要是方向,那就算再头破血流,也得闯过去。
他一握拳,有些恶狠狠地道:“好!七年,老子大不了再读个博!”
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